Flow Flange:
Water colled Enterprise Flow Flange asssembly with heat schields, electrical connectors and isolators.
Needle valves for hydrogen purge of rectangular Flow Flange viewports, side viewports, and loadlock passthrough.

MFC:
Low differential pressure MFCs for alkyl and hydride distribution and standard MFC's for hydrogen shroud flow distribution.
Push flow MFC for inner alkyl zone.

Не могу даже сказать, к чему это все относится (LDM Growth System MOCVD Reactor...): совершенно не понимаю, о чем речь...

Заранее спасибо!