DictionaryForumContacts

 maricom

link 14.07.2009 17:09 
Subject: down to 55nm node - ? (контроль качества полупроводников)
The Nikon P3 system is designed for automated pattern profile management and line width roughness monitoring of 300mm wafers with fully incorporated macro defect detection, EBR inspection, and automatic defect classification for unsurpassed performance down to the 55nm node.

Система Р3 от Nikon разработана для автоматизированного измерения профилей? и мониторинга шероховатости края линий? 300 мм полупроводниковых пластин и полностью интегрирует макрообнаружение дефектов, контроль за удалением натеканий фоторезиста на края пластины и автоматическое классифицирование дефектов, что обеспечивает непревзойденную производительность вплоть до ???.

Подскажите, пожалуйста, что имеется в виду под 55 нм NODE ( а, может, заодно подправите там, где знаки вопроса...)

Спасибо!

 ALEXN

link 14.07.2009 19:10 
я бы интерпретировал не так: " и автоматическую классификацию невообразимо малых дефектов размером до 55 nm."
nm = нано-метр (см. любой справочник). они хвалятся какие маленькие дефекты их оборудование ловит.

 Yakov

link 14.07.2009 19:23 
вплоть до микросхем, изготовленных по технологии 55 нм

это номинальное обозначение определенного уровня размеров технологического процесса, а не размер дефекта

 maricom

link 14.07.2009 20:15 
Спасибо!

 lisulya

link 15.07.2009 4:25 
unsurpassed performance down to the 55nm node

непревзойденную точность в измерении, вплоть до (самых мелких деталей) микросхем, изготовленных по технологии 55 нм

 maricom

link 15.07.2009 7:29 
Большое спасибо, lisulya!
Вы мне очень помогли с этим безумным (для меня) переводом. Конечно, у меня осталось еще несколько вопросов - может быть, подскажете, как переводится "Tilt macro Insprection"? Контекст: из Specifications прибора NWL-860TM, перечисляются Inspection modes - Micro inspection, Tilt macro inspection...)

Я нашла в словаре только одно что-то похожее - tilt stabilization (стабилизация по углу места). Может ли "Tilt macro Insprection" переводиться как "Макроконтроль по углу места"? Или это полная чушь? А, может, просто "макроконтроль в наклонном положении?"

Буду очень благодарна за помощь.

 Yakov

link 15.07.2009 8:42 
Tilt macro Insprection = макроконтроль в наклонном положении

это визуальная инспекция пластины при ее вращении в наклонном положении и освещении направленным светом для выявления макродефектов

 alk moderator

link 15.07.2009 10:01 

 

You need to be logged in to post in the forum