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Terms
for subject
Microelectronics
containing
field
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all forms
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exact matches only
English
German
abut
fields
sufficiently accurately
Felder genügend genau zusammensetzen
montieren
(auf großen Chips mit mehreren Belichtungsfeldern)
a.c.
field
Wechselfeld
accelerate by electrostatic
fields
durch elektrostatische Felder beschleunigen
adjust automatically X, Y, and Ф to targets on the wafer for each
field
X, Y und Ф in bezug auf Wafermarken für jedes Einzelfeld automatisch einstellen
adjust the entire image
field
for actual focal plane
das gesamte Bildfeld für die tatsächliche Brennebene einstellen
align each exposure
field
separately
jedes Belichtungsfeld getrennt
für sich
justieren
align to 0.1μm at each exposure
field
mit einer Geschwindigkeit von 0,1 μm in jedem Bildfeld justieren
arc-shaped image
field
bogenförmiges Bildfeld
axial
field
component
Längsfeldkomponente
bias
field
Vormagnetisierungsfeld
bipolar
field
-effect transistor
BIFET
bipolar
field
-effect transistor
Bipolar-Feldeffekttransistor
bit
field
Bitfeld
bright-
field
image
Hellfeldabbildung
bubble domain
field
Blasendomänenfeld
bubble nucleation at low bias-
field
values
Erzeugung von Blasen bei geringen Vormagnetisierungsfeldstärken
bulk junction
field
-effect transistor
Sperrschichtfeldeffekttransistor
clear-
field
test mask
Klarfeldtestschablone
compensating
field
Kompensationsfeld
constant-
field
scaling
Skalierung mit Aufrechterhaltung konstanter elektrischer Felder
control line sizes uniformly across the projection
field
gleiche Größe der Linienbreiten über das gesamte Bildfeld einhalten
cover the entire exposure
field
das gesamte Belichtungsfeld überstreichen
(erfassen)
cross-
field
switching system
Querfeldschaltsystem
dark-
field
chrome mask
Dunkelfeldchromschablone
dark-
field
window on the reticle
Dunkelfeldfenster auf dem Retikel
d.c.
field
Gleichfeld
deflect the electron beam in a raster over a 64μm square
field
den Elektronenstrahl rasterförmig über ein Feld von 64 μm × 64 μm ablenken
deflection
field
up to 6.5 mm square
Ablenkfeld bis 6,5 mm Kantenlänge
depletion-mode
field
-effect transistor
Feldeffekttransistor des Verarmungstyps
disk-identifying
field
Kopfetikett
disk-identifying
field
Anfangsetikett
(Anfangsteil einer Information)
disk-identifying
field
Nachrichtenvorsatz
disk-identifying
field
Montageblock
(z. B. für ein Chip)
disk-identifying
field
Kopfangaben
disk-identifying
field
Sockel
distort the existing data in the
field
die vorhandenen Daten im Datenfeld verfälschen
drawing
field
Schreibfeld
drive
field
Treiberfeld
drive
field
strength
Treiberfeldstärke
enhancement of the
field
ion current
Verstärkung des Feldionenstroms
enhancement-mode n-channel
field
-effect transistor
n-Kanal-Feldeffekttransistor des Anreicherungstyps
expose 5 mm x 5 mm
fields
in step-and-repeat raster-scan fashion
5 mm x 5 mm-Felder rasterförmig im Step-und-Repeat-Verfahren belichten
exposure
field
Belichtungsfeld
exposure uniformity across the 1 cm²
field
Gleichmäßigkeit der Belichtung in dem Feld von 1 cm²
external
field
emission
äußere Feldemission
fail in the
field
im Einsatz versagen
field
-alterable control element
anwenderprogrammierbares Steuerelement
field
-butting technique
Feldmontagetechnik
field
-by-field alignment
chipweise Justierung
field
-by-field alignment
Einzelfeldjustierung
field
-by-field levelling
feldweise Höheneinstellung
field
-by-field writing
feldweises Schreiben
field
compositional mode
Betriebsart der Feldzusammensetzung
field
coverage
Bildfeldbereich
field
coverage
Feldgröße
field
coverage
Bildfeldgröße
field
curvature
Bildfeldkrümmung
field
curvature correction
Feldkrümmungskorrektur
field
-dependent
feldabhängig
field
-effect interaction
Feldeffektwechselwirkung
field
-effect transistor
FET
field
electron source
Feldelektronenquelle
field
-emission cathode
Feldemissionskatode
field
-emission electron gun
Feldemissionselektronenstrahler
field
-emission gun
Feldemissionsstrahler
field
-emission source
Feldemissionsquelle
field
experience
praktische Erfahrung
field
failure analysis
Fehleranalyse während des Geräteeinsatzes
field
-free
feldfrei
field
ion current
Feldionenstrom
field
ion source
Feldionenquelle
field
ionization
Feldionisierung
field
junction
Verbindung von Strukturfeldern
field
of exposure
Belichtungsfeld
field
oxide
Feldoxid
field
partitioning
Feldunterteilung
field
plate
Feldplatte
field
-programmable gate array
kundenprogrammierbarer Universalschaltkreis
field
-programmable gate array
vom Anwender programmierbares Verknüpfungsfeld
field
-programmable logic array
vom Anwender programmierbares logisches Feld
field
-programmable logic array
anwenderbeeinflußbare Logikschaltung
field
-programmable logic array
vom Anwender programmierbare Logikschaltung
field
-programmable logic array
anwenderprogrammierbares Logikfeld
field
-programmable logic array
logische Anordnung
field
-programmable ROM
programmierbarer Festwertspeicher
field
-proven
praxisbewährt
field
-replaceable
durch den Anwender auswechselbar
field
-replaceable unit
austauschbare Baueinheit
field
-replaceable unit
Austauscheinheit
field
-retrofit to
nachträglich ausbauen zu
field
service at the customer's site
Geräteservice beim Kunden
field
-service engineer
Kundendienstingenieur
field
stitching
Zusammensetzen von Strukturfeldern
field
stitching
Aneinanderfügen von Strukturfeldern
field
stop
Leuchtfeldblende
field
stretching
Felddehnung
field
stretching
Feldstreckung
field
-tested
praxiserprobt
field
testing
Einsatzerprobung
field
-to-field registration with benchmarks
feldweise Uberdeckung mit Feinjustiermarken
fixed
field
festes Feld
flat
field
geebnetes Feld
floating-gate avalanche-injection
field
-effect transistor
FAMOS-Feldeffekttransistor
focus by electromagnetic
fields
durch elektromagnetische Felder fokussieren
focussing
field
Fokussierungsfeld
focussing
field
Fokussierfeld
fringing
field
Randfeld
full-
field
exposure of wafers
Globalbelichtung von Wafern
full-
field
focussing
Gesamtfeldfokussierung
full-
field
projection aligner
Justier- und Belichtungsanlage mit Ganzfeldprojektion
full-
field
projection printing
Projektionsbelichtung des gesamten Feldes
high-frequency response of the insulated-gate
field
-effect transistor
Hochfrequenzverhalten des Feldeffekttransistors mit isolierter Steuerelektrode
image
field
diameter
Bildfelddurchmesser
image
field
distortion
Bildfeldverzerrung
image
field
of the 10x reduction lens
Bildfeld des 10:1-Verkleinerungsobjektivs
increase as the square of the
field
mit dem Quadrat des Bildfeldes zunehmen
individual alignment of image
fields
individuelle Justierung der Bildfelder
input capacitance of
field
-effect transistors
Eingangskapazität von Feldeffekttransistoren
insulated-gate
field
-effect transistor
Oberflächen-feldeffekttransistor
insulated-gate
field
-effect transistor
Feldeffekttransistor mit isolierter Steuerelektrode
(Gateelektrode)
join patterns in adjacent
fields
properly
Strukturen benachbarter Felder genau zusammensetzen
(aneinanderreihen)
junction
field
-effect transistor
pn-gesteuerter Feldeffekttransistor
junction-gate
field
-effect transistor
pn-gesteuerter Feldeffekttransistor
junction-gate
field
-effect transistor
Sperrschichtfeldeffekttransistor
label
field
Namensfeld
large-area-
field
projection printer
Großfeldprojektionsbelichtungsanlage
light
field
chrome mask
Hellfeldchromschablone
limited depth of
field
begrenzte Schärfentiefe
magnetic
field
depending resistor
magnetfeldabhängiger Widerstand
magnetic
field
interference
Magnetfeldstörung
magnetic
field
strength
Magnetfeldstärke
maintain proper focussing over the full image
field
genaue Fokussierung über das gesamte Bildfeld einhalten
match of
field
size to chip size
Anpassung der Feldgröße an die Chipgröße
maximum image
field
maximales Bildfeld
mechanical stage motion between each scan
field
exposure
Tischverschiebung zwischen jeder Rasterfeldbelichtung
metal oxide semiconductor
field
-effect transistor
MOS-Feldeffekttransistor
metal oxide semiconductor
field
-effect transistor
MOSFET
metal oxide semiconductor
field
-effect transistor
Metall-Oxid-Halbleiter-Feldeffekttransistor
metal-insulator-semiconductor
field
-effect transistor
MISFET
metal-insulator-semiconductor
field
-effect transistor
Isolierschichtfeldeffekttransistor
metal-insulator-semiconductor
field
-effect transistor
MIS-Feldeffekttransistor
metal-oxide silicon
field
-effect transistor
Metall-Oxid-Silizium-Feldeffekttransistor
metal-thick oxide-silicon
field
-effect transistor
MTOS-FET
metal-thick oxide-silicon
field
-effect transistor
Feldeffekttransistor mit dicker Oxidschicht
microinstruction jump
field
Mikrobefehlssprungfeld
1-mm-square deflection
field
Ablenkfeld von 1 mm Kantenlänge
5-mm-square
field
of view
Gesichtsfeld von 5 mm × 5 mm
5-mm-square lens
field
Bildfeldgröße von 5 mm × 5 mm
momentary change in the bias
field
momentane Änderung des Vormagnetisierungsfeldes
move to the next
field
to be written
das nächste zu schreibende Feld anfahren
multilaboratory evaluation of
field
methods
Auswertung praktischer Methoden in vielen Labors
octopole
field
of view
Oktopolablenkfeld
offset the exposure
field
das Belichtungsfeld versetzen
on-the-fly change in the drive
field
momentane Änderung des Treiberfeldes
op-code
field
Operationsteil
operand
field
Öperandenfeld
operation code
field
Operationskodefeld
optimized printing of the largest available
field
optimierte Belichtung des größten verfügbaren Feldes
overlay one exposure
field
to another
ein Bildfeld mit einem anderen überdecken
(zur Deckung bringen)
pass 20 % of inspected
fields
falsely as good
20 % der kontrollierten Felder fälschlicherweise als gut anerkennen
patch several scan
fields
mehrere Rasterfelder zusammensetzen
pattern a wafer by stepping through 200
fields
einen Wafer schrittweise durch 200 Felder strukturieren
position the beam at the centre of a
field
den Strahl in der Mitte eines Feldes positionieren
positional accuracy within the drawing
field
Positionsgenauigkeit innerhalb des Schreibfeldes
print
field
sizes up to 6 mm x 6 mm
Feldgrößen bis zu 6 mm x 6 mm belichten
protection status bit
field
geschütztes Zustandsbitfeld
raster-scan a small image
field
over the wafer in two dimensions
ein kleines Bildfeld rasterförmig in zwei Koordinatenrichtungen über den Wafer führen
raster-scan
field
Rasterfeld
rectangular
field
rechteckiges Feld
register address
field
Registeradressenfeld
retarding-
field
lens
Bremsfeldlinse
retrofit to systems already in the
field
nachträglich in schon vorhandene Anlagen einbauen
retrofittable to systems in the
field
in schon existierenden Anlagen nachrüstbar
ring
field
Ringfeld
ring
field
projection system
Ringfeldprojektionssystem
scan a full 5-mm-square
field
ein volles 5 mm × 5 mm-Feld abrastern
scan an arc-shaped image
field
of 1 mm width across the wafer
ein bogenförmiges Bildfeld von 1 mm Breite rasterartig über den Wafer führen
scan distortion at the
field
edges
Rasterverzerrung an den Feldkanten
scan
field
Rasterfeld
scan
field
exposure
Rasterfeldbelichtung
scan
field
exposure
Abtastfeldbelichtung
scan the entire exposure
field
das gesamte Belichtungsfeld abrastern
Schottky barrier
field
-effect transistor
Schottky-Sperrschichtfeldeffekttransistor
Schottky barrier
field
-effect transistor
Schottky-Gate-Feldeffekttransistor
separate alignment of each exposure
field
Einzeljustierung jedes Belichtungsfeldes
single image
field
Einzelbild
sinusoidal
field
Sinusfeld
sizeable electric
field
sehr großes elektrisches Feld
split-
field
microscope
Doppelmikroskop
(Justiermikroskop)
split-
field
microscope
Splitfield-Mikroskop
split-
field
monocular-viewing microscope
monokulares Splitfield-Mikroskop
square
field
quadratisches Feld
step many
fields
viele Felder in schrittweiser Belichtung aneinanderreihen
step the beam across the writing
field
den Strahl schrittweise über das Schreibfeld führen
step the small image
field
over the wafer
das kleine Bildfeld im Step-und-Repeat-Verfahren auf dem Wafer reproduzieren
step to the next
field
zum nächsten Feld weiterschreiten
step-repeat exposure of smaller
fields
Belichtung kleinerer Felder im Step-und-Repeat-Verfahren
stitch together
fields
Felder aneinanderreihen
(zusammenheften, montieren)
stitching of multiple
fields
on a single wafer
Montage mehrfacher Felder auf einem einzigen Wafer
stitching of multiple
fields
on a single wafer
Zusammenfügen mehrfacher Felder auf einem einzigen Wafer
stray
field
interaction
Streufeldwechselwirkung
strength of the bias
field
Stärke des Vormagnetisierungsfeldes
surface
field
-effect transistor
Oberflächenfeldeffekttransistor
total-
field
exposure system
Anlage für Belichtung des gesamten Feldes
transverse
field
component
Querfeldkomponente
transverse magnetic
field
magnetisches Querfeld
unipolar
field
-effect transistor
Unipolarfeldeffekttransistor
vary the aspect ratio of the exposure
field
das Seitenverhältnis des Belichtungsfeldes verändern
velocity perpendicular to magnetic
field
direction
Geschwindigkeit senkrecht zur
V-MOS power
field
-effect transistor
VMOS-Leistungsfeldeffekttransistor
wide-
field
lens
Weitfeldobjektiv
wide-
field
lens
Großfeldobjektiv
writing
field
Schreibfeld
writing
field
boundary
Schreibfeldgrenze
X-Y stage movement between
fields
Koordinatentischverschiebung zwischen den Feldern
yield a
field
size of 3 mm square after reduction
eine Feldgröße von 3 mm x 3 mm nach Verkleinerung ergeben
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