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Terms for subject Microelectronics containing spot | all forms | exact matches only
EnglishGerman
adjustable-size high-energy spothochenergetische Sonde mit veränderlichem Durchmesser
beam spot diameterStrahlsondendurchmesser
beam spot sizeStrahlsondengröße
diffraction spot sizeBeugungsfleckgröße
dual- beam flying-spot scannerDoppelstrahl-Lichtpunktabtastgerät
electron-beam spot sizePunktstrahldurchmesser des Elektronenstrahls
end-of-file spotDateiendezeichen
end-of-file spotDateiendemarke
finely focussed spot beamStrahl mit kleinem Bündelquerschnitt
fixed-shape spot manufacturing systemFertigungsanlage mit nichtvariablem quadratischem Strahlquerschnitt
fixed-size spot systemStrahlanlage mit nichtvariabler Sondengröße
flying-spot scanning techniqueLichtpunktabtastverfahren
Gaussian spot instrumentPunktstrahlgerät
high spot on the wafererhöhte Stelle auf dem Wafer
image spotBildpunkt
magnetic spotSpurelement (einer Magnetplatte)
magnetized spotmagnetisiertes Spurele'ment
8 nm nominal diameter spotFokus mit einem Nenndurchmesser von 8 nm (Elektronenstrahlmikroskopie)
on-axis spot sizeaxiale Strahlgröße (Elektronenlithografie)
opaque spotopaker Fleck (z. B. Teilchen auf einer Maske)
outline the feature with a small spot and fill it with large blocksdie Umrisse des Strukturelements mit kleinem Punktstrahl schreiben und mit großen Blöcken ausfüllen
polarized spotpolarisiertes Spurelement
random distribution of indistinguishable spot defectsstatistische Verteilung von nicht unterscheidbaren Punktdefekten
scan a light spot over a defecteine Lichtsonde im Abtastverfahren über einen Defekt führen
scan every element in the pattern with a finely focussed spot beamjedes Strukturelement mit einem feinfokussierten Strahl abrastern
scan the electron spot across the surface under testmit dem Elektronenstrahl die zu prüfende Oberfläche abrastern
scanning light spotAbtastsonde
scanning light spotAbtastlichtfleck
scanning spot diameterAbtastsondendurchmesser
scanning spot sizeGröße der Abtastsonde
shaped-spot sizeFormstrahlgröße
slug electron spotkleine Elektronensonde
slug electron spotfein gebündelter Elektronenstrahl
spot areaSondenfläche
spot areaElektronenstrahlfläche
spot areaPunktstrahlfläche
spot broadeningFleckverbreiterung
spot-checkunmittelbar prüfen
spot currentSondenstrom
spot currentStrahlstrom
spot diagramPunktdarstellung
spot diameterSondendurchmesser
spot placement accuracyStrahlpositioniergenauigkeit
spot shaping methodStrahlformungsverfahren
spot sizeSondendurchmesser (Elektronenstrahllithografie)
spot size change on the flykontinuierliche Sondengrößenänderung
square spotquadratisch begrenzter Fleck
square spotrechteckförmige Flächenstrahlsonde
submicron spotSubmikrometersonde
use a beam spot much smaller than the feature to be writteneine weitaus kleinere Strahlsonde als das zu schreibende Strukturelement verwenden
variable shape spotvariabler Formstrahl
variable shaped spot E-beam lithographic toollithografisches Elektronenstrahlgerät mit variabler Flächenstrahlsonde
variable shaped spot E-beam lithographic toolelektronenlithografisches Formstrahlgerät
variable spot shapevariable Sondenform
variable spot shapingFormstrahlerzeugung
variable spot shapingFormstrahlverfahren (Belichtungsstempelerzeugung nach dem Formstrahlprinzip)
variable spot shapingvariable Strahlformung
variably shaped spot techniqueFormstrahlverfahren
variably shaped writing spotFormstrahl
vary the spot size and shape as the feature requiresDurchmesser und Form des Strahlquerschnitts entsprechend dem Strukturelement verändern
writing spotSchreibstrahl
writing spotSchreibsonde

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