 |
| Russian | English |
| двухслойный материал, применяемый для изготовления оригиналов фотошаблонов методом резания по верхнему непрозрачному слою | scribecoat |
| оригинал фотошаблона | master mask (хромовый фотошаблон с большим числом одинаковых рисунков, которые надо получить на полупроводниковой пластине, используется для проекционной фотолитографии и получения контактным способом рабочих фотошаблонов) |