 |
| Russian | English |
| контейнер со стопой пластин | wafer pack |
| размерное электрохимическое стоп-травление | capacitive electro-chemical etch-stop (применяется в целях изготовления изделий микромеханики Tigerforce) |
|
| Russian | English |
| контейнер со стопой пластин | wafer pack |
| размерное электрохимическое стоп-травление | capacitive electro-chemical etch-stop (применяется в целях изготовления изделий микромеханики Tigerforce) |