| Russian | English |
| антистатическая пластина для фотошаблона | antistatic mask blank |
| генератор фотошаблонов | photomask generator |
| генетератор фотошаблонов | photomask generator |
| групповой фотошаблон | multiple master (фотошаблон, на котором выполнено не менее двух рисунков ПП в масштабе 1:1) |
| групповой фотошаблон | multiple-image production master (фотошаблон, на котором выполнено не менее двух рисунков ПП в масштабе 1:1) |
| заказной фотошаблон | custom photomask |
| изготовление фотошаблонов с применением ЭВМ | computer-aided mask preparation |
| изготовленная с помощью трёх фотошаблонов | tri-mask integrated IC |
| износоустойчивый фотошаблон | hard-surface mask |
| инструмент для контроля топологии фотошаблона | artwork checking tool |
| комплект оригиналов фотошаблонов | master mask set |
| комплект фотошаблонов | tooling |
| комплект эталонных контрольных фотошаблонов | master mask set (набор фотошаблонов всех топологических слоёв ИС или ПП, совмещающихся в определённом порядке друг с другом и предназначенных для выполнения операций фотолитографии при изготовлении ИС или ПП) |
| контактное совмещение фотошаблона с пластиной | proximity mask alignment |
| контрольный фотошаблон | master photomask |
| контрольный фотошаблон | photomaster |
| контрольный фотошаблон | artwork master |
| мультиплицирование структур фотошаблонов | step-and-repeat process |
| негативный фотошаблон | negative phototool |
| оборудование для изготовления фотошаблонов | photomask-making equipment |
| обратный контактный фотошаблон | reverse contact mask |
| оригинал фотошаблона | original mask |
| повторное совмещение фотошаблонов | mask realignment |
| повышение долговечности фотошаблонов | photomask-life improvement |
| полупрозрачный фотошаблон | see-through mask |
| прецизионный фотошаблон | fine-line mask |
| прецизионный фотошаблон | fine geometry mask |
| промежуточный фотошаблон | intermediate mask |
| рабочий фотошаблон | production photomask |
| рабочий фотошаблон с одиночным изображением | single-image production master (одной ПП или ИС) |
| разработка фотошаблона | photomask design |
| разработка фотошаблонов | photomask design |
| рисунок на эмульсионном фотошаблоне | emulsion-mask pattern |
| рисунок соединений на пластине, получаемый с помощью автоматического генератора многослойных соединений, преобразующего данные автоматических испытаний элементов БИС в окончательный фотошаблон для соединения в БИС только годных кристаллов | programmed interconnection pattern |
| совмещение всей п / п пластины с фотошаблоном | full-wafer alignment |
| совмещение фотошаблона при фотолитографии с зазором | proximity mask alignment |
| совмещение фотошаблона с пластиной | mask alignment |
| совмещение фотошаблона с пластиной ИС | alignment |
| совмещение фотошаблона с пластиной ИС | registration |
| стеклянный фотошаблон | glass mask |
| технология изготовления ИС с помощью трёх фотошаблонов | tri-mask technology |
| технология изготовления ИС с применением только трёх фотошаблонов | tri-mask |
| топология фотошаблона | master-circuit layout |
| транзистор, изготовленный с помощью трёх фотошаблонов | tri-mask transistor |
| установка для изготовления фотошаблонов | photomasking system |
| установка для изготовления фотошаблонов | mask camera |
| установка для контактного копирования фотошаблонов | contact mask printer |
| установка для отмывки фотошаблонов | photomask scrubber |
| установка совмещения фотошаблона с пластиной | mask alignment instrument (и экспонирования) |
| устройство для совмещения фотошаблонов | aligner |
| фотошаблон для фотолитографии с источником дальнего УФ-излучения | deep-uv mask |
| фотошаблон из однотипных структур | single-pattern photomask |
| фотошаблон, изготовленный по электронно-лучевой технологии | electron-beam generated mask |
| фотошаблон, используемый при контактной печати | working plate |
| фотошаблон, используемый при проекционной печати | master plate |
| фотошаблон с одной структурой | single-pattern photomask |
| фотошаблон со слоем оксида железа | iron-oxide mask |
| фотошаблон со слоем оксида железа | ferromask |
| фотошаблон, состоящий из одинаковых структур | single pattern photomask (элементов) |
| хромированный фотошаблон | chromium-photomask |
| хромированный эталонный фотошаблон | chrome master |
| хромовый фотошаблон | chromium photomask |
| хромовый фотошаблон | chromium mask |
| чертёж фотошаблона | photomask design |
| число операций экспонирования при изготовлении одного фотошаблона | flash count (на шаговой множительной аппаратуре) |
| экспонирование резиста через фотошаблон | mask exposure |
| экспонирование через фотошаблон | mask exposure |
| эластичный фотошаблон | conformable photomask |
| электронно-лучевая установка для изготовления фотошаблонов | electron-beam mask system |
| электронно-лучевой генератор изображений фотошаблонов | electron-beam mask generator |
| электронно-лучевой генератор фотошаблонов | e-beam photomask generator |
| эмульсионный фотошаблон | emulsion plate |
| эмульсионный фотошаблон | emulsion photomask |
| эталонный фотошаблон | artwork master |
