| Russian | English |
| групповой фотошаблон | panel master |
| групповой фотошаблон | multiple master (на котором выполнено не менее двух рисунков печатной платы в масштабе 1:1) |
| двухслойный материал, применяемый для изготовления оригиналов фотошаблонов методом резания по верхнему непрозрачному слою | scribecoat |
| держатель пластины, на которой изготовляется фотошаблон | mask-plate carrier |
| держатель пластины, на которой изготовляется фотошаблон | chuck |
| дефекты фотошаблона, различаемые только с помощью приборов | pattern defects (напр., микроскопа) |
| «диффузионный» метод изготовления фотошаблона | diffusion method |
| изготовление группового фотошаблона | panelization |
| комплект эталонных контрольных фотошаблонов | master mask set (всех топологических слоёв ИС или печатной платы, совмещающихся в определённом порядке друг с другом, для выполнения операций фотолитографии при изготовлении ИС или печатных плат) |
| контрольный фотошаблон | original master |
| контрольный фотошаблон | submaster (изготовленный с оригинала методом контактной печати и используемый для изготовления рабочих фотошаблонов) |
| контрольный фотошаблон | master |
| контрольный фотошаблон | first generation |
| логическая матрица, программируемая фотошаблоном | mask-programmable array |
| неровность линии на фотошаблоне | chatter (обусловленная появлением задиров при движении резака по эмали) |
| оригинал фотошаблона | master mask (хромовый фотошаблон с большим числом одинаковых рисунков, которые надо получить на полупроводниковой пластине, используется для проекционной фотолитографии и получения контактным способом рабочих фотошаблонов) |
| пластина для фотошаблона | photoblank |
| постоянное ЗУ, программируемое фотошаблонами | masked ROM |
| применительно к фотошаблону — дефекты, различаемые визуально | gross defects (затемнение эмульсии, разломы, царапины) |
| прозрачный контрольный фотошаблон | overlay |
| промежуточный фотошаблон | reticle (стеклянная пластинка, покрытая эмульсией или хромом, с увеличенным изображением рисунка одной ИС, промежуточный фотошаблон обычно фотомультиплицируется на пластину, покрытую, напр., хромом, с целью изготовления оригинала фотошаблона) |
| рабочий фотошаблон | working tool |
| рабочий фотошаблон с одиночным изображением | single-image production master (одной печатной платы или ИС) |
| система автоматизированного проектирования устройств формирования групповых фотошаблонов | panelization station |
| совмещение фотошаблона | mask alignment |
| совокупность рисунков или элементов фотошаблона | array |
| трассировочный фотошаблон | routing mask |
| установка совмещения фотошаблонов | aligner (и экспонирования) |
| хромовый фотошаблон | chrome circuit pattern |
| элемент топологии фотошаблона | mask feature |
| эталонный промежуточный фотошаблон | master reticle |
| эталонный фотошаблон | original master |
| эталонный фотошаблон | first generation |
