 |
| Russian | English |
| комплект эталонных контрольных фотошаблонов | master mask set (всех топологических слоёв ИС или печатной платы, совмещающихся в определённом порядке друг с другом, для выполнения операций фотолитографии при изготовлении ИС или печатных плат) |
| эталонный промежуточный фотошаблон | master reticle |
| эталонный фотошаблон | original master |
| эталонный фотошаблон | first generation |