 |
| Russian | German |
| вакуумное удержание | Vakuumaufspannung (подложки) |
| время удержания | Haltezeit (параметр триггера или счётчика) |
| время удержания на выходе | Ausgangshaltezeit |
| длительность удержания плазмы | Plasmalebensdauer |
| ток удержания | Haltestrom (тиристора) |
| установка контактной фотолитографии с вакуумным удержанием полупроводниковой пластины | Vakuum-Kontaktjustier und Belichtungsanlage |