Struktur – phrases

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Terms for subject Microelectronics containing Struktur | all forms | exact matches only

German	English
Abbildungs- und Formtreue der Strukturen	fidelity of the geometries
Abstand in der Struktur	gap in the pattern
anpassungsfähig an besondere Strukturen	adaptable to particular patterns
aus Rechtecken gebildete Struktur	pattern formed with rectangles
aus Rechtecken zusammengesetzte Struktur	pattern composed of rectangles
aus Rechteckstempeln zusammengesetzte Struktur	pattern composed of rectangles
Belichtungsdaten für eine Struktur	pattern data
das Bild zur Struktur auf der Maske geometrisch in Beziehung setzen	relate the image to pattern on the mask
das Fotoresist auf der Oberfläche eines Wafers mit den Strukturen eines Retikels belichten	expose the photoresist on the surface of a wafer to the patterns on a reticle
Defektretikel der Struktur	defect reticle of the pattern
Detailfeinheit der Struktur	fineness of the structure of the pattern
dichtgepackte Struktur	high-density pattern
die Entwicklung der Strukturen bis in den 1-μm-Bereich vorantreiben	push geometries down to 1 μm area
die gewünschte Struktur maß- und formtreu kopieren	replicate accurately the desired pattern
die Struktur auf den Wafer übertragen	transfer the pattern into the wafer
die Struktur auf der Maske verkleinern	shrink the pattern on the mask
die Struktur auf der zweiten Maske eines Satzes genau wiederholen	repeat the pattern on a second level mask accurately
die Struktur aus einer Reihe von Retikelbildern zusammensetzen	photocompose the pattern from a number of reticle images (montieren)
die Struktur direkt auf Wafer schreiben	write the pattern directly on wafers
die Struktur durch Belichtung einer Resistschicht erzeugen	generate the pattern by exposing a resist coating
die Struktur in Elementarfiguren zerlegen	divide the pattern into basic elements
die Struktur mit zehnfacher Vergrößerung zeichnen	draw the pattern at ten times size
die Struktur schrittweise auf das Substrat übertragen	step the pattem onto the substrate
die Struktur seriell schreiben	write the pattern serially
die Struktur von der Maske auf den Wafer abbilden	replicate the pattern from the mask on the wafer
die Strukturen auf dem Wafer überdecken	overlay the patterns on the wafer
die Strukturen auf den Wafer aufbelichten	imprint the patterns on the wafer
die Strukturen bis zu einer Genauigkeit von etwa 0,2 Mikrometer positionieren	place geometries to an accuracy in the order of 0.2 micrometres
die Strukturen direkt auf die zu bearbeitenden Wafer schreiben	write the patterns directly onto the wafers to be processed
die Strukturen matrixartig anordnen	array the patterns
die Strukturen zueinander justieren	align the patterns with respect to one another
die vollständige Struktur für alle Chips in natürlicher Größe der endgültigen Strukturelemente enthalten	contain the complete pattern for all dice at the actual size of the final features (1 ×)
die zu schreibende Struktur zu vorausgehenden justieren	orient the pattern to be written with previous ones
digitale Beschreibung der Struktur	digital description of the pattern
Direktschreiben der Struktur auf Wafer mit Elektronenstrahl	direct 1×E-beam writing on the wafer
Doppel-Poly-Si-Gate-MOS-Struktur	double polysilicon-gate MOS structure
durch höhere Schaltkreisdichten geforderte kleinere Strukturen	finer geometries demanded by higher circuit densities
Ebene in einer hierarchischen Struktur	hierarchical level
eindimensionale Struktur	one-dimensional geometry
eine Folge von Strukturen aufbringen	impose a succession of patterns
eine Struktur als eine Serie von Belichtungsstempeln unterschiedlicher Breite und Länge spezifizieren	specify a pattern as a series of flashes of varying widths and lengths
eine Struktur auf die Maske projizieren	project a pattern onto the mask
eine Struktur auf ein Raster schreiben	write a pattern on a grid
eine Struktur im Fotoresist auf dem Wafer schreiben belichten	delineate a pattem in the photoresist film on a wafer (Elektronenstrahllithografie)
eine Struktur in einer Kontaktbelichtungsanlage durch eine Chromschablone belichten	expose a pattern in a contact printer through a chrome mask
eine Struktur in elektronenempfindlichem Resist schreiben	draw a pattern in an electron-sensitive resist
eine Struktur in Streifen zerlegen	dissect a pattern into stripes
eine Struktur mit darunterliegenden zur Überdekkung bringen	register a pattern to underlying ones
eine Struktur zu darunterliegenden justieren	align a pattern with underlying ones
Einheitlichkeit der Strukturen	die pattem uniformity
Elektronendurchtunnelung durch die gleichrichtende Sperrschicht der MIS-Struktur	electron tunnelling through the MIS rectifying barrier
Elektronendurchtunnelung durch die gleichrichtende Sperrschicht der MIS-Struktur	electron tunneling through the MIS rectifying barrier
elektronenstrahlbelichtete Struktur	electron-beam-written pattern
Fehler in der Überdeckung zwischen den Strukturen	pattern misregistration
Fehlerlosigkeit der Struktur	integrity of the pattern
Formtreue der Struktur	pattern fidelity
Formtreue der Struktur	fidelity of the pattern
fotolithografisch belichtete Struktur	photolithographically printed pattern
Fremdatome in den Wafer in einer bestimmten Struktur einbauen	introduce impurities into the wafer in a particular pattern
gemischte Struktur	merged structure
genau die vorausgehende Struktur überdecken	overlie precisely the preceding pattern
geometrische Struktur	geometry
geometrische Struktur im Mikrometerbereich	micron-sized geometry
gleichmäßig verteilte Struktur	evenly distributed pattern
Gleichmäßigkeit der Strukturen	die pattem uniformity
große Strukturen durch Bildfeldmontage zusammensetzen	photocompose large area patterns
großflächige Struktur	large-area-area pattern
hierarchischer Aufbau einer funktionalen Struktur von unten nach oben	bottom-brazed-up implementation
hintere Struktur	back pattern
hoher Wiederholgrad in der Struktur	high degree of repetition in the pattern
im Step-und-Repeat-Verfahren die Struktur auf dem Wafer vielfach abbilden	step the pattern across the wafer (reproduzieren)
immer kleinere Strukturen auf den Siliziumwafer aufbelichten	imprint finer and finer geometries onto the silicon wafer
in der hierarchischen Struktur Tests auf immer höheren Ebenen durchführen	work upward through the hierarchy
in Polymerresist geschriebene Struktur mit kleinsten Linienbreiten	narrowest structure written in polymer resist
in Silizium geätzte Struktur eines integrierten Schaltkreises	integrated circuit pattern etched in silicon
innere Struktur	internal organization
jedes Element einzeln zu dem entsprechenden Element in der vorher belichteten Struktur justieren	align each element individually to its corresponding element in the previously printed matrix
kleinere Strukturen schreiben	delineate smaller geometries
kleinere Strukturen zusammenfügen	stitch together smaller patterns (montieren)
kleinste Elementbreite der Struktur	minimum pattern line width
kleinste Struktur	smallest feature
kleinste Struktur	minimum geometry
kleinste Strukturen von 0,5 μm schreiben	define minimum geometries of 0.5 μm (mit Elektronenstrahl)
kombinierte Struktur	merged structure
komplexe Strukturen in Teilrechtecke zerlegen	fracture complex geometries into component rectangles
komplizierte Struktur	complicated geometry
kontaktbelichtete Struktur	contact-printed pattern
Kontaktkopieren der Struktur auf das Bauelementsubstrat	contact printing of the pattern onto the device substrate
Kontrolle der Abmessungen von Strukturen integrierter Schaltkreise	dimensional control of integrated circuit patterns
künstlich hergestelltes Objekt mit Strukturen	artifact with patterns (Linienbreitestandard)
logische Struktur	logic design (Konzeption)
Löcherdurchtunnelungsprozeß durch die gleichrichtende Sperrschicht der Metall-Isolator-Halbleiter-Struktur	hole tunnelling process through the MIS rectifying barrier
Löcherdurchtunnelungsprozeß durch die gleichrichtende Sperrschicht der Metall-Isolator-Halbleiter-Struktur	hole tunneling process through the MIS rectifying barrier
1-μm-Strukturen	one-micrometre geometries
mangelnde Abbildungs- und Formtreue der Strukturen	infidelity of the geometries
MAOS-Struktur	metal alumina oxide semiconductor structure (Metall-Aluminiumoxid-Siliziumdioxid-Halbleiter-Struktur)
Maske mit vervielfältigten Strukturen	mask carrying replicated patterns
Maßtreue der Struktur	pattern fidelity
Mikromeßsystem für Strukturen im Submikrometerbereich	micromeasurement system for submicron geometries
mit der Struktur auf der Vorderseite in Deckung bringen	register to the front side pattern
MTNS-Struktur	metal thick nitride semiconductor structure (mit dicker Nitridschicht)
Neujustierung fvon Strukturen	realignment of patterns
obere Struktur	front pattern
periodisch auftretendes Struktur-Element	periodic feature
Rechtecke zu einer komplexen Struktur zusammensetzen	compose rectangles into a complex pattern
regelmäßige Anordnung von Strukturen endgültiger Größe	array of final-size patterns
reproduzierbare Strukturen von Wafer zu Wafer erhalten	obtain reproducible geometries from wafer to wafer
SAMOS-Struktur	SAMOS structure
schablonenartige Struktur	stencil-like pattern
Schreiben der gewünschten Struktur im Resist	delineation of the desired pattern in the resist
Schreiben von VLSI-Strukturen auf Siliziumwafern	delineation of VLSI patterns on silicon wafers (Elektronenstrahllithografie)
schrägwandige Struktur	ramp structure
sich nicht wiederholende Strukturen	non-repeated geometries (Formen)
sich wiederholende Strukturen	repetitive geometries (Formen)
SNOS-Struktur	silicon nitride oxide silicon structure
Streifenbreite einer Struktur	stripe width of a pattern
Struktur der Gatterebene	gate level pattern
Struktur der Rückseite	back pattern
Struktur der Vorderseite	front pattern
Struktur einer Ebene	level pattern
Struktur einer unteren Ebene	lower level pattern
Struktur eines einzelnen Bildfeldes	die pattem
Struktur endgültiger Größe	final-size pattern
Struktur für höchstintegrierten Schaltkreis	VLSI pattern
Struktur mit abgeschrägten Wänden	slanted pattern (durch Unterätzung)
Struktur mit Abmessungen im Submikrometerbereich	pattern with submicron geometries
Struktur mit absichtlich eingeführten Defekten	intentionally defective die pattern
Struktur mit darunterliegenden Strukturen zur Deckung bringen	overlay a pattern on lower-level patterns eine
Struktur mit Elementgrößen bis zu 0,5 Mikrometer	pattern with feature sizes to 0.5 micron
Struktur mit Linien-breiten unter 1 pm	submicron line width pattern
Struktur mit Linienbreiten von 1 μm	1-μm pattern
Struktur mit Linienbreiten von 20 nm	pattern of 20 nm wide lines
Struktur mit niedrigem Integrationsgrad	low-density pattern
Struktur mit schrägen Bildelementen	pattern with angled figures
Struktur mit Substrukturen	substructure pattern
Struktur mit variablem Seitenverhältnis	variable aspect ratio pattern
Struktur mit vertikalen Wänden	vertical-walled structure
Struktur unter der Oberfläche	subsurface structure
Strukturen auf der Scheibe direkt im Resist herstellen	pattern images on the slice directly in the resist
Strukturen auf resistbeschichteten Wafern abbilden	image patterns on resist-coated wafers
Strukturen benachbarter Felder genau zusammensetzen	join patterns in adjacent fields properly (aneinanderreihen)
Strukturen bis weit in den Submikrometerbereich reproduzieren	replicate patterns well into the submicron level
Strukturen durch "Auspinseln" belichten	expose geometries by "painting them in" (Rasterelektronenstrahllithografie)
Strukturen durch wiederholte Herstellung von Teilfeldern zusammensetzen	build up patterns by repeated generation of subfields
Strukturen im Bereich von 0,5 bis 1 μm	geometry in the 0.5-to-1 μm range
Strukturen im Step-und-Repeat-Verfahren direkt auf Wafer übertragen	step and repeat circuit patterns directly on wafers
Strukturen mit der herkömmlichen Fotolithografie reproduzieren	reproduce patterns by conventional photolithography (duplizieren)
Strukturen mit Elementbreiten bis zu 0,2 μm scharf abbilden	define patterns with geometries as small as 0.2 micrometre
Strukturen mit hohem Integrationsgrad	closely packed geometries
Strukturen mit hoher Auflösung schreiben	write patterns at high resolution
Strukturen mit hoher Packungsdichte	closely packed geometries
Strukturen tief in eine dicke Resistschicht hinein exponieren	expose patterns deep into a thick coating of resist
Strukturen von 1,0 μm oder mehr erfordern	require geometries of 1.0 μm or greater
treppenartige Struktur	stepped geometry (einer Linienkante)
ungleichmäßige Struktur	uneven structure
Unterteilung einer komplexen Struktur	subdivision of a complex pattern
Unterteilung einer komplexen Struktur	partitioning of a complex pattern
Verfahren der Übertragung kleinster Strukturen auf die Halbleiterscheibe	direct-step-on-wafer technique
verschmolzene Struktur	merged structure
Vervielfältigung hochaufgelöster Strukturen	replication of high-resolution patterns
verzweigte Struktur	tee structure
von dem betrachteten Bild das Bild einer benachbarten Struktur subtrahieren	subtract from the image in view the image of one adjacent pattern
vordere Struktur	front pattern
zusammengesetzte Struktur	feature composite
Zusammensetzen komplizierter Strukturen	stitching of complex patterns
Überdeckung der nächsten Struktur	overlay of the next pattern
Überdeckung von Strukturen verschiedener Masken auf einem Substrat mit einer Genauigkeit von 0,1 μm	superposition on a substrate of patterns from several masks to a precision of 0.1 μm
Überdeckungsfehler in den Strukturen	pattern misregistration
Überdekkung mit der darunterliegenden Struktur	registration with the underlying pattern
Überdekkungsübereinstimmung zwischen Strukturen	matching overlay between patterns
Übertragung der gewünschten Strukturen auf den Wafer mit hoher Abbildungs- und Formtreue	high-fidelity transfer of the desired geometries onto the wafer

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