strahlen – phrases

Terms for subject Microelectronics containing strahlen | all forms

German	English
Abstandsbelichtung mit UV-Strahlen	UV proximity printing
das Substrat gegen den Strahl neigen	tilt the substrate to the beam
das Substrat genaue Wegstrecken unter dem Strahl verschieben	move the substrate precise distances under the beam
das Substrat zum Strahl kippen	tilt the substrate to the beam
den Strahl austasten	blank off the beam
den Strahl automatisch justieren	align the beam automatically
den Strahl durch Daten für Hell- und Dunkeltastung steuern	feed on-off data to the beam
den Strahl elektromagnetisch ablenken	deflect the beam electromagnetically
den Strahl formen	shape the beam
den Strahl genau neben eine Schneide fokussieren	focus the beam just to the side of a knifeedge
den Strahl in der Mitte eines Feldes positionieren	position the beam at the centre of a field
den Strahl in einem X-Y-Raster ablenken	spread the beam in an X-Y raster
den Strahl in verschiedenen Stellen im Raster helltasten	turn the beam on at various points in the scan
den Strahl rasterartig über das Substrat führen	scan the beam across the substrate
den Strahl rasterartig über eine quadratische Fläche von 128² Bildelementen führen	raster-scan the beam over a 128-by-128 pixel area
den Strahl rasterförmig über den Wafer führen	move the beam across the wafer in a raster scan fashion
den Strahl rasterförmig über die resistbeschichtete Oberfläche führen	raster-scan the beam over the resist-coated surface
den Strahl rasterförmig über kleine Strecken ablenken	scan the beam over small distances
den Strahl rechtwinklig zur Tischverschiebung auslenken	scan the beam at right angles to the stage motion
den Strahl schrittweise über das Schreibfeld führen	step the beam across the writing field
den Strahl sequentiell zu den zu belichtenden Elementen der Chipstruktur führen	direct the beam sequentially to the elements of the chip pattern to be exposed
den Strahl sperren	block the beam (blockieren)
den Strahl umschalten	switch the beam
den Strahl zur Justiermarke zurückführen	return the beam to the fiducial mark
den Strahl über eine Blende ablenken	sweep the beam across an aperture
den unabgelenkten Strahl bis auf 0,3 mm genau positionieren	keep the beam within 0.3 mm of its undeflected position
die Marke mit dem Strahl abtasten	scan the beam over the target
jedes Strukturelement mit einem feinfokussierten Strahl abrastern	scan every element in the pattern with a finely focussed spot beam
rechteckförmiger Strahl mit veränderbaren Abmessungen	rectangular beam of variable dimensions
sichelförmiger Strahl	arc-shaped beam
Strahl auf den genauen Ort plazieren	position the beam to the exact location den
Strahl mit festem quadratischem Querschnitt	fixed square beam
Strahl mit hoher Auflösung	high-resolution beam
Strahl mit kleinem Bündelquerschnitt	finely focussed spot beam
Strahl mit nichtvariablem Querschnitt	fixed-shape beam
Strahl mit variablem rechteckförmigem Querschnitt	variable rectangular beam
strukturerzeugender Strahl	patterning beam
vom Strahl abgerasterte Fläche	area scanned by the beam

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