 |
| |||
| з'єднання кремнієвих пластин методом сплавлення (Технологія з'єднання гідрофілізованих підкладок, зроблених з Si, окисленого кремнію і т.д. (первиним водневим зв'язком між поверхнями і потім зв'язком Si-O-Si після відпалу при високій температурі)) | |||
|
| |||
| з'єднання кремнієвих пластин методом сплавлення (Технологія з'єднання гідрофілізованих підкладок, зроблених з Si, окисленого кремнію і т.д. (первиним водневим зв'язком між поверхнями і потім зв'язком Si-O-Si після відпалу при високій температурі)) | |||